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Agilent VHS-6擴散泵(beng)擁(yong)有(you)*的凸腔設計能使氣(qi)體捕集(ji)量翻倍,并(bing)且可以保持更低的壓力。所(suo)有(you) VHS 系列泵(beng)都配(pei)有(you)油(you)位(wei)觀察窗/注油(you)和放油(you)組件,便于連續監測和對泵(beng)油(you)的維護。
Agilent VHS-6擴散泵(beng)具有(you) 4 英(ying)寸(cun)、6 英(ying)寸(cun)、250 mm、10 英(ying)寸(cun)和(he) 400 mm 多種(zhong)尺寸(cun)。VHS 系列擁有(you)*的(de)凸腔設計能使(shi)氣體捕(bu)集量翻倍,并且可(ke)以保持更低的(de)壓力。所有(you) VHS 系列泵(beng)都(dou)配有(you)油位觀察窗/注(zhu)油和(he)放油組件,便于連續監測和(he)對(dui)泵(beng)油的(de)維護(hu)。鰭片式(shi)加熱(re)(re)盤(pan)設計增大(da)了(le)表面積,并延(yan)長了(le)泵(beng)油的(de)使(shi)用壽命。過熱(re)(re)保護(hu)開(kai)關和(he)速(su)冷(leng)盤(pan)管也是標準配置(zhi)。4 英(ying)寸(cun)、6 英(ying)寸(cun)和(he) 10 英(ying)寸(cun)泵(beng)可(ke)隨泵(beng)訂(ding)購 ASA 或(huo) ISO 法蘭、標準或(huo)外延(yan)冷(leng)卻帽,還有(you)多種(zhong)電(dian)壓型(xing)號可(ke)選。
特(te)性:
1.可達(da)到(dao)極(ji)限抽速。
2.油(you)位(wei)觀察窗可(ke)隨時快速指(zhi)示(shi)泵流體的狀況。
3.泵(beng)油(you)注排組件
4.分(fen)餾噴嘴可純(chun)化泵油。
5.前級耐壓高。
6.過熱保(bao)護。
7.不(bu)銹鋼泵體和噴嘴
8.翅片加(jia)熱盤設計增大表(biao)面積,并延長泵油壽命。
技術指(zhi)標:
抽(chou)氣速率,工作(zuo)范(fan)圍 抽(chou)氣速率,AVS4.1 (1963) | 1550 L/s 空氣(qi)(qi),1930 L/s 氦(hai)氣(qi)(qi)和氫氣(qi)(qi) 2400 L/s 空氣(qi)(qi) |
大(da)抽氣量 | 在工作(zuo)范圍內為(wei) 2.4 T L/s (3.2 mbar L/s),0.01 Torr 時為(wei) 3.5 T L/s (4.5 mbar L/s) |
操作(zuo)范圍 | 1.5 x 10-3 至低于 5 x 10-9 torr(2 x 10-3 至低于 6.5 x 10-9 mbar) |
大前級耐(nai)壓 | 無負載:0.65 torr (0.85 mbar) 滿載:0.55 torr (0.72 mbar) |
推薦前(qian)級泵 | ≥ 17 cfm (29 m3/h) |
返(fan)油率,標準冷卻帽 | 低于 5 x 10-4 mg/cm2/min |
預熱(re)時間(jian) | 10 min |
冷(leng)卻時間 | 10 分(fen)鐘(使(shi)用(yong)速冷(leng)盤管) |
注油量 | 500 cc — 準(zhun)確的泵油包裝可用 |
電氣(qi)要求 | 單相,50/60 Hz,120/208/240 VAC |
泵功率 | 2200 W |
冷卻水要求 | 在(zai) 60-80 ℉ (15-26 ℃) 時,抽速為(wei) 0.25 gpm (50 L/h) |
連接水冷 | 1/8 英寸 FPT 三通 |
抽(chou)速曲線
抽速/標準(zhun)冷(leng)卻帽 抽速/外延冷(leng)卻帽 通導
外形(xing)圖(tu)
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