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Agilent VacIon Plus 150離子泵

更新時間:2020-10-10

簡要描述:

Agilent VacIon Plus 150離子泵用于以恒定的壓力抽除混合氣體的超高真空應用中,因此適合在粒子加速器、同步加速器環和表面分析應用中提供超高真空。StarCell 的設計使其能抽除大量惰性氣體和氫氣的離子泵。它還能以高速度和大容量抽除甲烷、氬氣和氦氣。

Agilent VacIon Plus 150離子泵具有適合各種抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號。Diode VacIon Plus 離子泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 (UHV) 系統中及高分辨電子顯微鏡中。Noble Diode VacIon Plus 離子泵用于以恒定的壓力抽除混合氣體的超高真空應用中,因此適合在粒子加速器、同步加速器環和表面分析應用中提供超高真空。StarCell 的設計使其能抽除大量惰性氣體和氫氣的離子泵。它還能以高速度和大容量抽除甲烷、氬氣和氦氣。StarCell VacIon Plus 離子泵適合需要在 10 -8 mbar 或以上壓力下穩定工作的應用。

Agilent VacIon Plus 150離子泵特性:

1.單元室采用優化設計,可大限度提高排放強度和抽速
2.離子泵在真空狀態下運輸
3.具有寬廣的抽速范圍(從 0.2 l/s 至 1000 l/s)
4.可提供多種泵體配置
5.聯鎖的真空密封穿導件連接方便,并可避免腐蝕和大限度縮小泵的總體尺寸
6.三種不同的抽氣單元可抽除所有可能的氣體混合物
7.陶瓷絕緣子可延長泵的壽命

性能指標:

技術指標:

 StarCell®改進型二極離子泵二極泵
氮氣名義抽速 (*) (L/s)125135150
在 1 x 10-6 mbar 壓力下的工作壽命(小時)80,00050,00050,000
大啟動壓力 (mbar)≤ 1x10-2≤ 1x10-3
極限真空低于 10-11
抽氣口法蘭6 英寸 CFF (NW 100) AISI 304 ESR
MAX烘烤溫度 (℃)350
重量,kg(磅)43 (94)

(*) 根據 ISO/DIS 3556-1-1992 測試

抽速與進氣口壓力關系

外形圖

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